◆性能特點:
小型化及可拆卸化設(shè)計,非常便于攜帶及教學(xué)。
激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定,抗干擾性強。
精密探針定位裝置,激光光斑對準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡便。
單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描。
馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品。
自動光學(xué)定位,無需調(diào)焦,實時觀測與定位探針樣品掃描區(qū)域。
彈簧懸掛式防震方式,簡單實用,防震效果好。
集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%。
◆測量范圍及應(yīng)用:
測量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應(yīng)用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應(yīng)用案例 Application Case
序號 | 名稱 | 技術(shù)參數(shù) |
01 | 工作模式 | 輕敲模式、RMS-Z曲線 |
02 | 選配模式 | 接觸、摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力 |
03 | 選配力曲線 | F-Z力曲線 |
04 | XY掃描范圍 | 20×20um,可選50×50um,100×100um |
05 | Z掃描范圍 | 2.5um,可選5um,10um |
06 | 掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm |
07 | 樣品尺寸 | Φ≤90mm,H≤20mm |
08 | 樣品臺行程 | 15×15mm |
09 | 光學(xué)觀察 | 4X光學(xué)物鏡/2.5um分辨率 |
10 | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
11 | 掃描角度 | 0~360° |
12 | 運行環(huán)境 | Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng) |
13 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
14 | 減震設(shè)計 | 彈簧懸掛方式 |